Di fasilitas produksi, setiap joule energi yang digunakan untuk proses pengeringan merupakan joule yang tidak dapat digunakan untuk hal-hal lain dalam proses produksi. Peralatan pengering tradisional cenderung beroperasi melebihi batas yang ditentukan demi mengatasi keterlambatan proses pemanasan; hal ini justru membuang-buang energi dan membahayakan kualitas lapisan fotorezist. Kami membuat platform pengeringan khusus untuk mengurangi pemborosan energi tersebut, sambil tetap mempertahankan kontrol suhu yang optimal sesuai standar litografi.
Yang penting secara teknis:
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang menengah, beserta array sensor tipis berbasis sistem siklus tertutup, untuk menjaga stabilitas suhu pada kisaran ±0,1°C di seluruh permukaan wafer. Hal ini memungkinkan terciptanya pola pemanasan yang konsisten, sehingga kontrol ketelitian ukuran wafer pun menjadi lebih baik. Unit ini beroperasi pada tegangan 230 VAC, memiliki ukuran yang kompak, dan array pemancarnya bersifat modular sehingga memudahkan penggantian modulnya saat perawatan. Fungsi operasi di ruang bersih juga terjamin: operasi dilakukan dalam kondisi kelas 1–100 tanpa adanya partikel berbahaya, sebagaimana yang diverifikasi melalui pemantauan secara real-time. Penggunaan energi pun berkurang karena responsnya cepat dan tidak ada kelebihan pemanasan, sehingga anggaran energi tetap terjaga.
Mengapa cara ini efektif dalam praktiknya:
Proses pengeringan bukan sekadar tentang menghilangkan pelarut saja. Yang penting adalah menjaga stabilitas lapisan fotorezist sebelum proses eksposur dan sebelum proses penyatuan lapisan-lapisan tersebut. Dengan platform ini, Anda tetap bisa mendapatkan hasil yang konsisten, sambil mengurangi konsumsi energi per batch. Keseragaman lapisan fotorezist di seluruh permukaan wafer membantu mengurangi masalah seperti penumpukan zat sisa di tepi wafer, sehingga mengurangi limbah dan pekerjaan ulang. Kami telah melihat bahwa platform ini berhasil digunakan dalam operasi 24/7 tanpa adanya gangguan, dan pola pemanasan yang konsisten memungkinkan kualitas produk tetap terjaga.
Apa yang perlu Anda ketahui terlebih dahulu:
Proses modifikasi peralatan ini membutuhkan penyesuaian antara antarmuka peralatan yang sudah ada dengan spesifikasi peralatan baru. Harap bersiap untuk waktu penyetelan yang singkat agar parameter PID dapat disesuaikan dengan geometri ruang produksi dan beban pelarut yang digunakan. Setelah itu, Anda akan memiliki opsi yang efisien secara energi, yang memenuhi standar internasional, serta memberikan pengganti yang setara untuk peralatan pengeringan lama.