Réduire les émissions de carbone dans la salle propre : pourquoi nous passons au chauffage infrarouge
Il est difficile de maintenir une température adéquate à l’intérieur d’une boîte de travail pour semi-conducteurs. Généralement, on utilise des systèmes de chauffage par résistance ou des fours à convection. Ces systèmes fonctionnent, certes, mais ils sont extrêmement gourmands en énergie.
Nous avons commencé à utiliser des éléments chauffants à rayonnement infrarouge à ondes courtes. Il s’agit d’un changement simple, mais qui permet de réduire considérablement la consommation d’énergie de la salle propre.
Arrêter de chauffer l’air
Le problème avec le chauffage par convection, c’est qu’il cherche à chauffer chaque molécule d’azote ou d’argon présent dans la pièce, juste pour réchauffer l’objet à traiter. Cela représente une perte d’énergie énorme.
Le chauffage infrarouge, lui, utilise des radiations pour chauffer directement l’objet à traiter. On ne lutte pas contre l’atmosphère ambiante ; on dirige simplement l’énergie là où elle est nécessaire. Lorsque nous adaptons la puissance et la tension aux caractéristiques du wafer, le temps de chauffage diminue considérablement. C’est rapide. Vraiment très rapide. Et cela signifie moins de kWh consommés par unité de production.
Les détails techniques
Ces éléments chauffants sont fabriqués à partir de tubes en quartz de grande pureté. Pour en améliorer encore l’efficacité, nous ajoutons des revêtements spéciaux. Ainsi, l’énergie est concentrée sur le substrat, sans être reflétée par les parois de la boîte de travail.
Comme nous utilisons des connecteurs industriels standard, ces éléments peuvent être intégrés directement dans votre installation existante.
Un point important à retenir : ces lampes génèrent beaucoup de chaleur dans un espace très restreint. Comme la densité d’énergie est très élevée, il ne faut pas négliger l’installation des câbles. Si les diamètres des câbles sont trop faibles, il y aura des pertes de tension. Cela entraînera un chauffage inégal, ce qui est bien sûr à éviter.
Le véritable avantage
Ce qui est vraiment intéressant, ce n’est pas tant le chauffeur lui-même, mais plutôt l’impact positif sur le reste de la salle. Comme l’air ambiant n’est plus chauffé, les systèmes de refroidissement peuvent enfin se reposer. Les chaudières n’ont plus besoin de lutter pour stabiliser la température. C’est ainsi que la réduction des émissions de carbone est possible. Il ne s’agit pas de mots creux ou de pièces sophistiquées. Il s’agit simplement d’arrêter les pertes d’énergie dans tout le système.