جلوگیری از پدیدهی شراشیهای ناشی از انفجار لامپهای مادون قرمز: چرا استفاده از کاپهای سرامیکی برای لامپهای مادون قرمز ضروری است؟
اگر تا به حال در تولید ترانزیستورهای پربار کار کرده باشید، احساسات مربوط به این موضوع را میدانید. آن احساس ناگهانی و ترسناکی که هنگام انفجار لامپ مادون قرمز ایجاد میشود…
مسئله فقط مربوط به توقف فعالیت لامپ نیست؛ وقتی لولهی کوارتزی خراب میشود، دیگر فقط «دیگر کار نمیکند». در واقع، آن لوله به یک نارنجک تبدیل میشود و تکههای شیشهای و فلزی را روی ویفرها پخش میکند. در نتیجه، شما با آلودگیهای ثانویهای روبرو میشوید که باعث کاهش بازدهی تولید میشود. این یک کابوس واقعی است.
ما راهی پیدا کردیم تا از وقوع این مشکل جلوگیری کنیم؛ آن هم با استفاده از کاپهای سرامیکی با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز.
منطق این کار بسیار ساده است:
اکثر لامپهای استاندارد از سیستمهای بستهبندی سادهای استفاده میکنند. مشکل اینجاست که چرخههای حرارتی مداوم، فشار زیادی روی این سیستمهای بستهبندی وارد میکند تا در نهایت آنها پاره شوند.
ما از کاپهای سرامیکی برای جدا کردن اتصالات الکتریکی از لولهی کوارتزی استفاده میکنیم. سرامیکها در برابر حرارت مقاوم هستند؛ بنابراین وقتی دما بالا میرود، تغییر شکل نمیدهند. میتوانید آنها را مانند یک دیوارهی فیزیکی در نظر بگیرید. اگر رشتهی الکتریکی لامپ خراب شود یا لولهی کوارتزی پاره شود، کاپهای سرامیکی مانع از ریختن تکههای شیشهای و فلزی به داخل لامپ میشوند.
حفظ تمیزی محیط:
ما موادی را برای ساخت این کاپها انتخاب کردیم که در محیطهای تمیز، گازهای شیمیایی تولید نکنند. بنابراین، هیچ گاز عجیبی روی ویفرها پخش نخواهد شد. همچنین، با محدود کردن فضای احاطهکنندهی لامپ، دیگر نیازی نیست نگران برخورد تکههای شیشهای با سطح ویفرها باشید.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
البته، این راهحل بدون معایب نیست. این کاپها، طول لامپ را چند میلیمتر افزایش میدهند. اگر فضای موجود در چارچوب لامپ محدود باشد، باید قبل از استفاده از این کاپها، فضای احاطهکنندهی لامپ را بررسی کنید. همچنین، به دلیل وجود جرم بیشتر، انرژی حرارتی کمی تغییر میکند؛ بنابراین ممکن است نیاز باشد چند دقیقه وقت صرف تنظیم کنترلکنندههای PID برای مدیریت حرارت کنید.
یک نکتهی مهم دیگر این است که باید به مشخصات ولتاژی لامپ توجه کنید؛ اگر سعی کنید لامپ را بیش از حد فعال کنید تا حرارت بیشتری تولید شود، همچنان فشار زیادی روی لولهی کوارتزی وارد خواهد شد. کاپهای سرامیکی نمیتوانند از خرابی لامپ جلوگیری کنند، اما میتوانند اطمینان دهند که در صورت خرابی، آلودگیها محدود به یک ناحیه خاص باقی بمانند.