Calentamiento por infrarrojos vs. aire caliente: Deje de perder tiempo en el proceso de curado de los wafers
Si todavía depende de la circulación de aire caliente para el procesamiento de semiconductores, en realidad está perdiendo tiempo innecesariamente.
El problema es que el aire no es muy eficaz para transferir calor. Cuando se utiliza convección forzada, primero hay que calentar el aire, luego la cámara y, finalmente, el wafer. Es un proceso lento. Existe ese retraso molesto que afecta negativamente al tiempo de producción.
Eliminando el intermediario
Por eso optamos por las lámparas de infrarrojos. En lugar de esperar a que el aire se caliente, las lámparas de infrarrojos envían radiación electromagnética directamente hacia la superficie del wafer. Es un proceso instantáneo. Utilizamos reflectores especializados para dirigir toda esa energía exactamente donde es necesaria, de modo que no se desperdicie energía en calentar innecesariamente el chasis de la máquina. Se alcanza la temperatura deseada en segundos. Al dejar de esperar, aumenta significativamente la productividad por hora.
Lo importante son los reflectores
La verdadera magia ocurre en el diseño de los reflectores. Si se utilizan reflectores baratos, en realidad se desperdicia la mitad de la energía. Nosotros utilizamos recubrimientos altamente reflectantes para devolver cada fotón al wafer. Esto crea un perfil térmico uniforme. Eso significa que el wafer se cura de manera uniforme y, lo más importante, no se deforma.
Las limitaciones
Bueno, esto no es una solución mágica. Hay ciertos compromisos que tomar en cuenta. Las lámparas de infrarrojos de alta densidad se calientan mucho. Si los reflectores no están bien ajustados o los ventiladores de enfriamiento no pueden manejar la cantidad de calor generada, es posible que las lámparas se derritan o que la carcasa de la máquina se deforme. Hay que equilibrar bien esa potencia con un sistema de enfriamiento adecuado.
La realidad en la práctica
Para quienes estén cansados de la lentitud del calentamiento por convección, las lámparas de infrarrojos son la mejor opción. Permiten reducir el tamaño de la estación de curado y eliminar ese “impuesto por el tiempo” que se paga cuando se utiliza aire caliente. Conecte las lámparas, ajuste los reflectores y observe cómo disminuyen los tiempos de proceso.