¿Por qué utilizamos el oro para evitar la pérdida de calor?
Si observa un consumo excesivo de energía durante el procesamiento de los wafers, pero las temperaturas no son las adecuadas, probablemente haya un problema relacionado con la geometría del sistema. En esencia, el calor se “escapa” en lugar de llegar al wafer. Esa energía infrarroja se dispersa por el chasis de la máquina. Es una pérdida total de energía eléctrica.
Por eso utilizamos reflectores recubiertos de oro.
No se trata de lucir bonito…
Seamos claros: no usamos el oro para que la máquina se vea más elegante. Los reflectores de aluminio absorben demasiada energía. El oro, en cambio, es extremadamente eficiente a la hora de devolver la luz infrarroja hacia donde debe ir. Al utilizar una capa de oro, podemos concentrar el flujo de energía. El resultado es que se logra alcanzar la temperatura deseada en el wafer, sin necesidad de aumentar la potencia de la fuente de alimentación. Así, la factura eléctrica disminuye y el hardware funciona a mejores temperaturas.
Hacer que el calor llegue exactamente donde se necesita
El objetivo real es lograr una densidad térmica adecuada. Nadie quiere que haya “zonas frías” en el wafer; eso causaría resultados inconsistentes y muchísimo material desperdiciado. Configuramos la curvatura de estos reflectores para que la energía llegue exactamente a la zona deseada. Esto acelera significativamente el tiempo de calentamiento. Además, se obtiene un perfil térmico más uniforme. De esta manera, los bordes del wafer no se dañan, y toda la superficie se procesa de la misma manera.
Los inconvenientes y cómo solucionarlos
El problema es que, cuando se concentra tanta energía, el revestimiento del reflector sufre daños. Mientras el wafer recibe el calor necesario, las partes circundantes sufren mucho estrés térmico. Aquí es donde entran en juego los sistemas de enfriamiento. Si el flujo de aire es insuficiente, el revestimiento del reflector se sobrecalientará. Una vez que esto ocurre, el revestimiento de oro comienza a degradarse, y la eficiencia del sistema disminuye.
Es importante mantener limpia la superficie de oro. Si se ensucia u oxida, la capacidad de radiación disminuye inmediatamente. Tendrá que aumentar la potencia de los calentadores para compensar esto. Pero eso es inútil. Mantenga los reflectores limpios y asegúrese de que el aire fluya bien; así, el sistema funcionará correctamente.