In der Fertigungsstätte summt der Weichbrennofen ständig – doch das eigentliche Problem ist meist die Heizlampe im Thermalanalysegerät. Eine Abweichung von 2 °C in der Leistung der Heizlampe während des Brennvorgangs reicht bereits aus, um die kritischen Dimensionen um Nanometer zu verändern – und genau dann kommt die Produktion zum Stillstand. Wir haben die Heizlampe des Thermalanalysegeräts so konstruiert, dass diese Unsicherheiten beseitigt werden.
Was technisch wichtig ist:
Die Lampe arbeitet mit näherungsweise-infraroter Energie mit kurzen Wellenlängen. Sie verfügt über eine Quarzkapsel, die eine schnelle und effektive Wärmeübertragung ermöglicht. Sie ist für einen Betriebstemperaturbereich von 300–600 °C geeignet und sorgt dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb der Brennzone bei ±0,1 °C konstant bleibt. Die Energie wird über einen standardisierten Hochtemperaturanschluss zugeführt – dieser passt in die gängigen Analysekammern, ohne dass die Ausrüstung beschädigt wird.
Wir haben die Geometrie der Glühfäden sowie den Weg der reflektierenden Flächen so geplant, dass die Temperaturunterschiede minimiert werden. So stimmt die Temperatur im Zentrum und an den Rändern mit den Anforderungen des Herstellungsprozesses überein. Es gibt keine Überraschungen – nur wiederholbare Ergebnisse.
Warum sie in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie legen die Schritte des Weich- und Festbrennens das Profil des Fotolacks fest. Die Temperaturkonstanz ist entscheidend, damit die Abweichungen im CD-Wert unter Kontrolle bleiben und die Produktionsqualität gewährleistet wird. Diese Lampe ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet – außerdem erzeugt sie in der Heizzone keine Partikel. Dadurch bleiben die Defektzahlen auf einem akzeptablen Niveau.
Die Lampe kann Tag für Tag in der Produktion eingesetzt werden – mit einer Stabilität von über 5.000 Stunden sowie einer Intensitätsabnahme von weniger als 5 %. Dadurch sind weniger Austausche der Lampen notwendig, es entsteht weniger Stillstand – und man kann sich auf konstante Temperaturwerte von Wafer zu Wafer verlassen.
Was man bei der Planung berücksichtigen muss:
Die Lampe benötigt eine spezielle Stromversorgung mit entsprechender Stromregelung. Wenn man alte Analysegeräte nachrüsten will, sind geringfügige Anpassungen am Mechanismus notwendig. Die beste Leistungsergie wird erreicht, wenn die Emissivität der Kammer kontrolliert wird und die Lampe regelmäßig kalibriert wird.
Planen Sie den Austausch der Lampe zusammen mit Ihren Präventivwartungsarbeiten – und stellen Sie sicher, dass die Ausrichtung der Lampe den geltenden Vorschriften entspricht.