V provozu výroby stačí odchylka o 0,5 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezisty k tomu, aby se velká část výrobku proměnila ve šrot. Sušení polovodičových destiček selhává okamžitě, jakmile tepelný profil nedokáže být konzistentní na celé ploše destičky. Vyvinuli jsme semikondukční ohřívače s řízením typu PID, které eliminují tuto variabilitu – díky uzavřenému obvodu pro řízení infračerveného záření je dosažena tepelná stabilita na úrovni jednotlivých destiček.
Co je důležité pod kapotou
Kombinujeme rychle reagující infračervený zdroj s vysoce přesným regulátorem typu PID, který udržuje teplotu desky na úrovni ±0,1 °C. To umožňuje opakované použití stejných parametrů během procesů měkkého a tvrdého zahřívání, a zároveň zajišťuje rovnoměrnost teploty po celé ploše destičky, což umožňuje správnou kontrolu kritických rozměrů. Systém je vhodný pro prostředí čistých místností třídy 1–100. Díky odstranění odkrytých horkých vláken a omezení konvekční turbulence je generace částic minimální. Pro účely sledování procesu regulátor ukládá různé parametry a záznamy teploty – což usnadňuje kontrolu bez další práce.
Proč je to důležité v litografii a sušení
V litografii je potřeba konzistentní proces měkkého zahřívání, aby se upravila viskozita fotorezistu a odstranily se rozpouštědla bez poškození povrchu destičky. Při sušení polovodičových destiček je potřeba kontrolované zahřívání, aby se odstranily čisticí látky a zabránilo se jejich opětovnému nanášení. Náš přístup s řízením typu PID zajišťuje potřebnou reprodukovatelnost s rychlou změnou nastavení teploty, čímž se snižují doby cyklů a tím i množství odpadu. Spotřeba energie také klesá, protože teplo je generováno pouze v případě potřeby, nikoli neustále. Systém tak může fungovat bez přerušení po celou dobu práce.
Nepostradatelná konfigurace
Infračervené ohřívače vyžadují přesné zarovnání a čistou optickou cestu pro zachování stability. Plánujte krátké období na nastavení parametrů PID podle skutečného zatížení a tepelné hmotnosti. Ujistěte se také, že rozhraní zařízení odpovídá konektorům a signálům ohřívače. Jakmile je systém správně nastaven, funguje perfektně – ale tento krok konfigurace je nezbytný.