ফ্যাব রুমে, ফটোরেজিস্ট সফট বেকিংয়ের সময় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রার পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায়; এর ফলে অনেক কিছুই অকেজো হয়ে যায়। ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়াটি তখনই ব্যর্থ হয়, যখন সমগ্র পৃষ্ঠে একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে না। এই সমস্যা দূর করার জন্য আমরা PID-নিয়ন্ত্রিত সেমিকন্ডাক্টর হিটার ব্যবহার করেছি; এতে ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল ইনফ্রারেড এমিটারকে উচ্চ-রেজোলিউশনের PID কন্ট্রোলারের সাথে সংযুক্ত করেছি; এর ফলে প্লেটের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে বজায় থাকে। এর ফলে সফট বেকিং ও হার্ড বেকিংয়ের সময় একই ধরনের তাপমাত্রা বজায় থাকে; আর ওয়েফারের বিভিন্ন অংশেও তাপমাত্রা সমান থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এ ব্যবহার করা যায়; আর খোলা অবস্থায় থাকা গরম তারগুলো এবং কনভেক্টিভ টারবুলেন্সকে সীমিত করার ফলে কণা উৎপন্ন হয় না। প্রক্রিয়ার তথ্য সংরক্ষণের জন্য কন্ট্রোলারটি বিভিন্ন রেসিপি সংরক্ষণ করে; আর তাপমাত্রার তথ্যও লগ করে রাখে। এতে কোনো অতিরিক্ত কাজ করার দরকার নেই।
লিথোগ্রাফি ও ওয়েফার শুকানোর ক্ষেত্রে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফিতে ফটোরেজিস্টের সঙ্কীর্ণতা নিয়ন্ত্রণ করতে এবং ক্যাস্টিং সলভেন্টগুলো দূর করতে ধারাবাহিক সফট বেকিং প্রয়োজন। ওয়েফার শুকানোর ক্ষেত্রে ক্লিনিং এজেন্টগুলো দূর করতে এবং পুনরায় পদার্থ জমা হওয়া রোধ করতে নিয়ন্ত্রিত তাপ প্রয়োজন। আমাদের ইনফ্রারেড PID পদ্ধতিটি দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে সাহায্য করে; ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়, আর অকেজো পণ্যের পরিমাণও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়, কারণ তাপ শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় সময়েই সরবরাহ হয়। আর সিস্টেমটি কম বিরতির সাথে কাজ করতে পারে।
অপরিহার্য সেটআপ
ইনফ্রারেড হিটারগুলো স্থিতিশীল থাকার জন্য নির্ভুল অ্যালাইনমেন্ট ও পরিষ্কার অপটিক্যাল পথ প্রয়োজন। PID প্যারামিটারগুলো আপনার বাস্তব লোড ও তাপীয় প্রকৃতি অনুযায়ী সামঞ্জস্য করতে হবে; আর আপনার টুলের ইন্টারফেসটি হিটারের কানেক্টর ও কন্ট্রোল সিগন্যালিংয়ের সাথে মেলে কিনা তা নিশ্চিত করতে হবে। একবার অ্যালাইনমেন্ট ঠিক হয়ে গেলে সিস্টেমটি কাজ করবে—কিন্তু এই সেটআপ প্রক্রিয়াটি অপরিহার্য।