في قاعة التصنيع، يحدد درجة الحرارة في فرن الأكسدة المعيار الأساسي لجودة طبقة الأكسيد على سطح الرقاقة بأكملها. فانخفاض درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية كافٍ لتحويل رقاقة جيدة إلى رقاقة غير صالحة للاستخدام. لذلك، صممنا عنصر التسخين الخاص بعملية أكسدة الرقاقات بحيث يتجنب هذا النوع من التغيرات.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ الجزء الأساسي في التصميم هو مجموعة من مصابيح الكوارتز-الهالوجين، والتي تُسلط طاقة موجات قصيرة مباشرة على الرقاقة. وهذا يضمن توحيد درجة الحرارة بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية في منطقة المعالجة.
في العمليات التي تتم على مستوى أقل من 10 نانومتر، لا يمكن التسامح مع أي خطأ في درجة الحرارة. فدقة عملية الخبز اللين والخبز الصلب تؤثر بشكل مباشر على جودة الرقاقة. يوفر هذا العنصر استقرارًا في درجة الحرارة طوال الوقت، دون أي تغييرات، ويعمل بشكل نظيف، دون تكوين أي جسيمات، وذلك في ظروف غرف نظيفة من الدرجة الأولى.
لماذا يعمل هذا العنصر بشكل جيد في الإنتاج؟ يساعد هذا العنصر في التغلب على مشاكل الإنتاج المتعلقة بعمليات الطباعة والحفر. فعندما تكون درجات الحرارة مستقرة ومتكررة، يظل سمك طبقة الفوتوريزيست متساويًا بعد عملية الخبز الصلب، مما يؤدي إلى عدم ظهور أي عيوب على حواف الخطوط أثناء عملية الحفر.
النتيجة هي تقليل عدد عمليات إعادة المعالجة، بالإضافة إلى زيادة كمية الرقاقات المنتجة في كل مرة. كما يوفر هذا العنصر كفاءة أعلى في استخدام الطاقة، مما يقلل من تكاليف التشغيل دون التأثير على سرعة الإنتاج.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يمكن تركيب هذا العنصر في الأفران الموجودة بالفعل، لكنه يحتاج إلى مصدر طاقة مخصص وواجهة تحكم مناسبة لكي يعمل بشكل صحيح. يعتبر النمط الطاقي القصير الموجات مثاليًا للمعالجة الحرارية السريعة، لكن يجب أن يكون التوجيه نحو الرقاقة دقيقًا للغاية؛ فأي خطأ في التوجيه قد يؤدي إلى ظهور نقاط ساخنة في بعض المناطق.
نقوم بإجراء اختبارات في الموقع لضمان تطابق النمط الحراري مع مواصفات العملية المطلوبة، بحيث يتم الحصول على أداء مستقر في كل دفعة من الرقاقات.